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其中，敞篷博士生胡瑞金同学为第一作者，敞篷王军转副教授和余林蔚教授为共同通讯作者，研究工作得到了南京大学徐骏教授、施毅教授和陈坤基教授的悉心指导和大力支持通过此技术可以大幅压缩FET器件的沟道投影面积，版曝有望应用于利用较低光刻节点技术（例如N65~90纳米）实现等效于N5节点技术的更高器件集成密度。
与至上而下的光刻技术相比，上市售至下而上的纳米线沟道生长技术则更为高效、精细且富于变化。研究发现，价格高密度侧壁沟槽对催化铟颗粒的形成具有显著的调制作用，价格在氮氧叠层侧壁上形成小于铟原子表面扩散长度的沟槽结构是控制纳米线沟道均匀性的关键，同时突出的氮层宽度对调控相邻生长纳米线结构之间的耦合竞争有重要影响。图2：宏光或堆叠纳米线生长制备基本流程，以及与传统FET器件结构和生长模式的比较。
随着堆叠层数增加（以提供更大电流驱动），敞篷其制备成本将不断提高，并给保持分立沟道尺寸均匀性带来技术挑战。顺应摩尔定律的发展，版曝大规模集成电路已经推进到N3-5纳米技术节点，而其中极深紫外光刻工艺却成为我国所面临的掐脖子技术之一。
联系人：上市售余林蔚，[email protected]本文由南京大学电子学院余林蔚教授投稿。
然而长期以来，价格由于难以实现精准的空间定位和均匀的尺寸调控，纳米线生长技术一直无法规模应用于器件集成。星港家居以中台打造为基础核心，宏光或通过对SAAS系统的不断升级优化，与客户建立更紧密的关联，帮助客户进行科学化进销存管理，将政策扶持精细到位。
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